余磊 黄铭石 科技日报记者 过国忠
随着新冠疫情全球爆发，呼吸机、制氧机及其关键零部件等产品，需求量急剧攀升。4月22日，记者从无锡高新区科技局获悉，智驰华芯（无锡）传感科技有限公司与中科院上海微系统研究所，已联合成功发出呼吸机流量传感器，并将有望在短时间内进行量产， 实现对欧美产品进口替代。
据了解，呼吸机是治疗新冠肺炎重症患者必不可少的医疗设备之一。多年来，我国呼吸机流量传感器核心技术受到欧美的封锁与制约。此次新冠肺炎疫情发生后，国内一些呼吸机生产企业苦于缺乏流量传感器，难以满足救治需求。
智驰华芯（无锡）传感科技有限公司是一家从事汽车无人驾驶、工业物联网、人工智能、航天航空等领域的传感器研发、生产和销售的高新技术企业，在MEMS芯片设计、系统级封装、电路与算法开发、传感器批量测试校准、数据采集和无线传输等方面产品开发上，有着成熟的技术与经验。为了有效解决全球呼吸机关键传感器短缺难题，公司加速呼吸机流量传感器的研发。
相关专家介绍，流量传感器作为呼吸机气路系统的重要部件，负责将吸入和呼出的气体流量转换成电信号，送给信号处理电路完成对呼吸气流实时流量检测，可以由此计算出吸入和呼出潮气量、每分钟通气量，监控系统和医护人员可以由此判断是否有异常。因此，它的性能好坏会直接影响到呼吸机参数的准确性和可靠性。
据透露，目前，智驰华芯已经完成第一批次MEMS超声波传感器芯片流片及配到电路和算法开发，与传统压电陶瓷超声波传感器对比，MEMS超声波传感器采用低电压的驱动信号就能得到极高信噪比的超声波信号，降低了系统设计复杂度，提高了流量计量的准确性，作为数据采集的唯一功能器件和信息化基础产品，传感器可量化精准地获取各项指标，确保产品性能指标可以达到国际同类产品水平，可完美应用到呼吸机上的气体流量计设备之中。
（受访者供图）
